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目前常用的膜厚控制方法有多種,例如石英晶體振蕩法,單波長極值法,寬光譜掃描法等方法。寬光譜掃描法可以提供在較寬波長范圍內監控非規整膜系,而極值法一般要求膜層為規整膜層。因此寬光譜掃描方法,開始逐漸應用到膜厚控制的應用當中。
均勻光源是可調光源一個重要分支,一般可用于探測器如(CCD,CMOS)的響應均勻性測試等光電領域測試。
近日,中科院長春應化所柔性壓力傳感器小組利用卓立漢光標準電動滑臺,自主研發、搭建出一款柔性壓力傳感器測試設備,該設備很好地滿足了柔性傳感器研制過程中表征數據的采集問題。